離子研磨儀是一種用于材料科學(xué)領(lǐng)域的儀器。
離子研磨法是利用通過電場(chǎng)加速過的離子轟擊樣品表面,在樣品表面產(chǎn)生濺射效應(yīng) ,由此制備尺度為毫米級(jí)別的平滑表面的研磨方法。氬氣屬于惰性氣體,基本不會(huì)和樣品發(fā)生化學(xué)反應(yīng),因此通常我們采用Ar作為離子源轟擊樣品。
由于機(jī)械加工導(dǎo)致的樣品表層邊緣遭到破壞且所積累的殘余應(yīng)力無法得到釋放,最終造成無法獲得樣品表層納米梯度強(qiáng)化層真實(shí)精準(zhǔn)的原位力學(xué)性能。 離子研磨系統(tǒng)可以無應(yīng)力的去除樣品表面層,加工出光滑的鏡面。兼容平面和截面兩種加工方式,為相關(guān)檢測(cè)的樣品制備提供了最為有效的解決方案。